使用电极材料获得与陶瓷晶片的欧姆接触。采用什么电极,取决于实际的应用,材料通常是银、钯银、金或铂,最常用的材料为银电极。电极材料由金属,玻璃和各种溶剂的混合物组成,并通过丝网印刷,喷涂或刷涂的方式施加到晶片或芯片的两个相对表面上。
在厚膜带式炉中将电极材料烧制到陶瓷上,并在陶瓷和电极之间形成电结合和机械结合。然后检查金属化的晶圆并记录属性。在电极的涂沫过程中的精确控制可确保由晶片生产的组件具有出色的长期可靠性。
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